NanoAir™ 10 Contaparticelle per Aria
Sensibilità: 10 nm, Flowrate: 2.8 LPM (0.1 CFM)
Contatore di nanoparticelle progettato appositamente per l’uso negli spazi più critici dei fab.
Il Contaparticelle per aria a Condensazione (CPC) NanoAir™ è un nuovo prodotto rivoluzionario di Particle Measuring Systems (PMS). Offre la sensibilità di un CPC con la facilità d’uso e la funzionalità di un tradizionale contatore di particelle per camere bianche. Progettato per monitorare ambienti ultra-puliti, offre una sensibilità di rilevamento di 10 nm a una portata di campione di 2,8 L/min (0,1 CFM).
Le dimensioni di NanoAir sono più piccole dell’83% rispetto ai prodotti della concorrenza, il che ne rende pratico l’utilizzo ovunque in ambienti ultra-puliti, anche all’interno di impianti di processo per semiconduttori e moduli front-end di apparecchiature (EFEM). L’innovativo design del sistema di gestione dei fluidi di lavoro, in attesa di brevetto, è robusto ed efficiente e consente un funzionamento continuo 24 ore su 24, 7 giorni su 7, 365 giorni, senza bisogno di manutenzione o di interventi da parte dell’utente. In questo modo, si riducono le interruzioni del campionamento e della raccolta dati e i tempi di inattività degli strumenti.
Un accessorio con collettore a 10 porte (ParticleSeeker™) supporta le applicazioni che richiedono il monitoraggio di più punti di campionamento in sequenza o in modo programmato.
Inoltre, il NanoAir è compatibile con il gas ad alta pressione grazie all’HPD-III di PMS e i dati possono essere visualizzati, analizzati e riportati utilizzando il software di monitoraggio Facility Net di PMS o trasmessi direttamente a sistemi SCADA di terzi o a strumenti di processo.
Clicca per scaricare la scheda tecnica del NanoAir™.
Particle Measuring Systems progetta, produce, installa, calibra, ripara e manutiene il contaparticelle per aria a condensazione NanoAir™ .
Dettagli del prodotto
- La Conta Zero è <1,5 conteggi/m3 senza l’uso di schemi di sottrazione del conteggio zero
- Efficienza di conteggio a: 10 nm = 50% ± 20%, 15 nm = 100% ± 10%
- Ingombro inferiore dell’83% rispetto ai prodotti della concorrenza (16,5 x 20,2 x 15,2 cm)
- Riempimento del fluido di lavoro necessario solo una volta all’anno in occasione della calibrazione annuale, in grado di far passare 15 mesi tra un refill e l’altro con un funzionamento a tempo pieno 24×7
- Sensibilità: ≥ 10 nm
- Portata del campione: 2,8 LPM (0,1 CFM)
- Indirizzo IP e posizioni residenti nella stazione base che consentono il “cambio a caldo” dello strumento
- 4-20mA
- Porte USB (2): per seriale su USB (porta di servizio) e chiavetta USB
- Porte Ethernet (2): per protocollo Ethernet e MODBUS su TCP/IP
- Pronto per il funzionamento dopo 20 minuti dall’accensione
- I dati possono essere visualizzati, analizzati e segnalati utilizzando il software di monitoraggio Facility Net di PMS o trasmessi direttamente a sistemi SCADA di terze parti o a strumenti di processo di ingresso
- Monitoraggio sequenziale o programmato (con il campionatore ParticleSeeker a 10 porte)
- Compatibile con i gas ad alta pressione
- Adatto all’uso in ambienti di Classe 1 ISO
- Le dimensioni più ridotte della categoria consentono il monitoraggio all’interno degli strumenti di processo nelle aree funzionali più critiche e sulle piazzole di distribuzione del gas ad alta pressione più congestionate
- Il design del sistema di gestione dei fluidi di lavoro, in attesa di brevetto, è robusto ed efficiente per un funzionamento davvero continuo 24/7/365 senza la necessità di intervento da parte dell’utente e previene le interruzioni del campionamento e della raccolta dati
- La dimensione volumetrica esterna migliore della categoria definisce lo standard per i CPC progettati per applicazioni di produzione e controllo dei processi.
- Non utilizza il flusso d’aria della guaina, garantendo la capacità di campionamento volumetrico
- Nessun potenziale di migrazione indesiderata del fluido durante la spedizione, la movimentazione e l’installazione, come avviene in altri CPC per applicazioni industriali.
- Assenza di pompe o ventole interne; eliminazione della manutenzione e della potenziale generazione di particelle
- Capacità di monitorare più punti di campionamento in sequenza o in modo programmato
- Monitoraggio dei Punti di Utilizzo (POU) nelle aree di processo
- Monitoraggio continuo dell’attività delle particelle in tempo reale
- Utilizzo in strumenti di processo per semiconduttori e moduli di apparecchiature front-end (EFEM)
NanoAir + ParticleSeeker (campionatore a 10-porte):
- Monitoraggio all’interno di mini-ambienti di impianti di processo Equipment Front End Module (EFEM)
- Ideale per le applicazioni che richiedono un monitoraggio programmato dei punti di campionamento che segua il percorso del wafer o di altre superfici critiche
- Monitoraggio della contaminazione in un’ampia area fino a 120 m2 di spazio di produzione/processo
NanoAir + HPD-III (per il monitoraggio dei gas inerti ad alta pressione):
- L’utilizzo del contatore di particelle NanoAir con il diffusore ad alta pressione (HPD III) di PMS consente di misurare in tempo reale, in modo continuo e ad alta sensibilità i gas sfusi ad alta pressione.
Risorse
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