NanoAir™ 10 Contaparticelle per Aria
Ottieni dati da qualsiasi punto del tuo ambiente ultra pulito con questo contatore di particelle a condensazione da 10 nm. Aumenta il tempo di attività e migliora la resa.
Monitoraggio all’interno dei macchinari per la produzione dei semiconduttori con l’ingombro più ridotto sul mercato
Monitoraggio ininterrotto e senza manutenzione per 12 mesi con misurazioni continue 24 ore su 24, 7 giorni su 7
Il miglior tasso di conteggio falso tra tutti i CPC progettati per il monitoraggio di ambienti ultra puliti
Dettagli del prodotto
Riduci la contaminazione e migliora la resa dove conta di più con il nostro rivoluzionario contatore di particelle a condensazione (CPC) NanoAir™ 10.
Questo è l’unico sistema con collettore progettato per supportare il trasporto e la consegna di nanoparticelle.
Un prodotto complementare a 10 porte (ParticleSeeker™) supporta applicazioni che richiedono il monitoraggio di più posizioni di campionamento in sequenze sequenziali o programmate.
Il collettore a 10 porte consente di coprire un intero EFEM/Minienvironment con un unico CPC. Raggiungi una copertura di 11 metri quadrati con il collettore.
Il tempo da porta a porta è di soli 0,1 secondi, con una diafonia ridotta al minimo. Il collettore supporta varie modalità di funzionamento per:
- qualificazione degli strumenti
- tracciamento/monitoraggio dei processi
- risposta automatizzata agli eventi integrati della produzione
- tracciamento dei wafer all’interno degli strumenti di processo
Visualizza, analizza e genera report sui dati in modo rapido con il nostro software di monitoraggio delle particelle FacilityNet o tramite trasmissione diretta a sistemi SCADA di terze parti o strumenti di processo tramite protocollo Ethernet MODBUS. Il campionamento dei dati con una frequenza minima di 0,1 secondi consente un controllo preciso e informazioni utili sul processo.
È possibile accedere ai dati e allo strumento da remoto.
L’abbinamento di NanoAir 10 con HPD-III consente l’analisi di gas inerti ad alta pressione fino a 10 nm, garantendo un controllo superiore della contaminazione da particelle per i gas che entrano in ambienti critici.
Il NanoAir 10 non prevede schemi di sottrazione a conteggio zero. Ogni particella viene rilevata e conteggiata, garantendo prestazioni senza pari in ambienti ultra puliti.
Lo strumento ha il miglior tasso di conteggio falso rispetto a qualsiasi altro CPC sul mercato (≤1,5#/m3).
Contatore di nanoparticelle NanoAir 10 nella produzione di semiconduttori
Scopri come l’uso di un contatore di nanoparticelle in aree altamente sensibili della produzione di semiconduttori aiuta a identificare e controllare efficacemente la contaminazione, migliorando così la resa.
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Il nostro servizio clienti è pronto a rispondere alle tue domande o a prepararti un preventivo.
